MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面,已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,可以用于义肢上,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
广义地说,所谓纳米材料,是指微观结构至少在一维方向上受纳米尺度(1nm—100nm)调制的各种固体超细材料,它包括零维的原子团蔟(几十个原子的聚集体)和纳米微粒;一维调制的纳米多层膜;二维调制的纳米微粒膜(涂层);以及三维调制的纳米相材料。简单地说,是指用晶粒尺寸为纳米级的微小颗粒制成的各种材料,其纳米颗粒的大小不应超过100纳米,而通常情况下不应超过10纳米。目前,国际上将处于1nm—100nm纳米尺度范围内的超微颗粒及其致密的聚集体,以及由纳米微晶所构成的材料,统称为纳米材料,包括金属、非金属、有机、无机和生物等多种粉末材料。人们有时还会用千分尺来测量涂层的厚度。它们具有测量任何涂层与基体组合的优点,但缺点是需要接触到的基底面。
接触涂层的上表面和基底的下表面有时是非常困难的,并且它们通常不足以非常准确、灵敏的测量出某些薄涂层的厚度。因此,利用该方法必须进行两次测量,一次是在含有涂层的表面上进行测量,另一次则是在没有涂层的表面上进行测量。这两个度数的差值,也即是测量的高度差,就是该涂层的厚度大小。在一些粗糙表面上,该方法一般在较高处测量涂层的厚度。
以上信息由专业从事弹簧派瑞林镀膜订做的菱威纳米于2024/4/29 9:32:32发布
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