为满足纳米级电子束曝光系统的要求，系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路，并采用机控制。机通过图形发生器和数模转换电路去驱动等仪器的扫描线圈，从而使电子束偏转并控制束闸的通断。通过可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台，还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件也可以新建或导入多种通用格式的曝光图形。
曝照所需电子束是由既有的产生的电子束(离子束)提供。
电子射出后，受数千乃至数万伏特之加速电压驱动沿显微镜中轴向下移动，并受中轴周围磁透镜作用形成聚焦电子束而对样本表面进行扫描与图案刻画。扫描方式可分为循序扫描与矢量扫描。
扫描过程中，电子束的开启与阻断是由电子束阻断器所控制。电子束阻断器通常安装在磁透镜组上方，其功效为产生一大偏转磁场使电子束完全偏离中轴而无法到达样本。
(三) 阻剂(光阻)
阻剂是转移电子束曝照图案的媒介。阻剂通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。高能电子束的照射会改变阻剂材料的特性，再经过显影后，曝照(负阻剂)或未曝照(正阻剂)的区域将会留在基材表面，显出所设计的微影图案，而后续的制程将可进一步将此图案转移到阻剂以下的基材中。
湿度传感器原理:
湿度传器湿敏元件主要电阻式、电容式两类。
湿敏电阻:基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。
湿敏电容:用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚、聚酰、酪酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。
(3)继电器盒安装在靠近缓速器的位置,以缩短接线的长度,减少损耗。继电器盒内由4个大电流继电器为定子绕组线圈提供每组35A的电流。
(4)ABS联接器安装在电器控制箱内。它根据客车行驶状态自动决定缓速器的工作,包括ABS控制信号、ABS指示灯信号、里程表信号、脚控开关信号、手控开关信号等信号输入联接器。当ABS检测到某个车轮打滑时,它立即切断缓速器使其停止工作,打滑结束后又逐级增加缓速器制动力矩,始终保持缓速器转矩受到路面的支持;当车速低于3km/h时,切断脚控功能,以避免不必要的电流损耗;ABS检测到故障时,它将切断脚控功能,但仍保留手控功能,保证行车安全。
(5)因缓速器工作时需消耗较大电流,客车发电机输出电流应不少于140A,蓄电池荷电量应不少于180A.h。
以上信息由专业从事LG9704560386幻影车用液位传感器全新的济南信发汽配于2024/6/28 6:33:07发布
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