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在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。
随着复合分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得
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上轴承为性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承
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爱德华Edwards nXDS 泵在其他涡旋泵的基础上进行优化,提高了抽速,获得了更限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸汽(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS 泵还采用了新的端面密封技术,显著延长了端面密封条更换的时间间隔。
Edwards nXDS-C是改进型,更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz内阀以及不锈钢材料。nXDS-R型不带气镇因此它不能被突然打开。它可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。
以上信息由专业从事爱德华STP 301真空泵过热的潽拓光电于2023/1/13 5:49:07发布
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